無塵室有哪幾種？無塵室分級標準

無塵室是什麼？

無塵室也被稱為「潔淨室」，顧名思義是一個乾淨無塵的空間，不僅要將引入或產生的污染粒子降到最低，還要能夠控制微塵粒子的濃度，為了嚴格控管需要針對室內溫度、濕度、壓力等去控制，大多使用於對環境重視度較高的行業別，如：半導體科技廠、生化技術研發廠或醫院研究室等。  

無塵室分級

台灣主要無塵室分級標準

無塵室分級(Classification of air cleanliness)係根據空氣中的微粒濃度(particle concentration)。在台灣主要參考的分級標準有二：

•  美國聯邦標準209 (Federal Standard 209, FED 209)
•  國際標準化組織所發佈的ISO 14644

兩者間一個明顯的不同點在於分級名稱。FED採用0.5 μm微粒濃度限制為其分級名稱，如Class 100、Class 1,000、Class 10,000…等；或(中文)100級、1,000級...等。數字越高代表允許濃度上限越高，潔淨等級越低。而ISO則以數字作區分，如ISO 1、2、3、…、9，數字越小，等級越高。

現行無塵室主流分級標準—ISO標準

有一個好消息是美國聯邦標準209已在2001年廢止。並且經過多年更替，ISO標準已成為台灣現行的主流標準，大家不必再從兩個強勢標準中去作選擇。然而因FED的命名法較為直觀(直徑0.5 μm以上微粒在1 cf空氣中的濃度限制)，所以今天台灣業界還是習慣使用該命名法來述說無塵室的等級。因此FED標準對於新接觸無塵室領域的人來說，只需知道其名稱所對應的是多少ISO等級就可以了(見表1)。

ISO 14644又依不同的主題分為十個部分。對於無塵室分級的方式則詳細記載在第一部分中。目前ISO 14644所公告的最新版本為2015年版。下表為ISO 14644-1:2015所提供的無塵室分級參照表。須注意上一版(1999年)仍為許多無塵室廠房所依據的標準，並不是說最新版的公告出來後，舊版就立即廢止了。

ISO 14644無塵室等級區分表

ISO-14644-1	Fed-Std-209E	每單位空氣量中微塵粒子數濃度上限
ISO4	Class10	每一立方英尺不超過10粒
ISO5	Class100	每一立方英尺不超過100粒
ISO6	Class1000	每一立方英尺不超過1000粒
ISO7	Class10000	每一立方英尺不超過10000粒
ISO8	Class100000	每一立方英尺不超過100000粒

工業用無塵室

半導體、雷射工業、精密機械產業的廠房中經常會見到潔淨室，為了避免晶圓、面板等材料受到污染，這類型的無塵室對於粒子濃度的控管較嚴謹，甚至會有每一立方英尺不超過1粒的特殊要求。

其他產業無塵室

其他會使用到潔淨室的產業有：醫療、藥品、食品等類別，由於這些行業的操作程度沒有工業無塵室來的精細，因此對於粒子濃度的嚴謹度相對較低，範圍通常會在每一立方英尺不超過100粒以上。

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