無塵室規劃 | 輕隔間 | 隔間牆工程

無塵室分級(Classification of air cleanliness)係根據空氣中的微粒濃度(particle concentration)。在台灣主要參考的分級標準有二：

•  美國聯邦標準209 (Federal Standard 209, FED 209)
•  國際標準化組織所發佈的ISO 14644

兩者間一個明顯的不同點在於分級名稱。FED採用0.5 μm微粒濃度限制為其分級名稱，如Class 100、Class 1,000、Class 10,000…等；或(中文)100級、1,000級...等。數字越高代表允許濃度上限越高，潔淨等級越低。而ISO則以數字作區分，如ISO 1、2、3、…、9，數字越小，等級越高。

有一個好消息是美國聯邦標準209已在2001年廢止。並且經過多年更替，ISO標準已成為台灣現行的主流標準，大家不必再從兩個強勢標準中去作選擇。然而因FED的命名法較為直觀(直徑0.5 μm以上微粒在1 cf空氣中的濃度限制)，所以今天台灣業界還是習慣使用該命名法來述說無塵室的等級。因此FED標準對於新接觸無塵室領域的人來說，只需知道其名稱所對應的是多少ISO等級就可以了(見表1)。

ISO 14644又依不同的主題分為十個部分。對於無塵室分級的方式則詳細記載在第一部分中。目前ISO 14644所公告的最新版本為2015年版。下表為ISO 14644-1:2015所提供的無塵室分級參照表。須注意上一版(1999年)仍為許多無塵室廠房所依據的標準，並不是說最新版的公告出來後，舊版就立即廢止了。